[27p-A3-1~17] 8.4 プラズマエッチング

[27p-A3-17] プラズマプロセスによるArFフォトレジスト表面凹凸の解析 (5:45 PM ～ 6:00 PM)

竹内拓也¹，^○石川健治¹，節原裕一²，竹田圭吾¹，近藤博基¹，関根誠¹，堀勝¹ (名古屋大工¹，大阪大工²)

キーワード：ArFレジスト、エッチング