[27p-A3-1~17] 8.4 プラズマエッチング

[27p-A3-3] 誘導結合型HBrプラズマ中のBrラジカル挙動 (2:00 PM ～ 2:15 PM)

^○飯野大輝¹，野尻康弘¹，鈴木啓之¹，大池匠²，藤井良隆²，豊田浩孝^2,3 (東芝生産技術センター¹，名大工²，名大プラズマナノ工学研究センター³)

キーワード：HBrプラズマ、ラジカル