[27p-A3-1~17] 8.4 プラズマエッチング

[27p-A3-5] F2+NOx(x=1-2)の反応ポテンシャルと反応速度定数 (2:30 PM ～ 2:45 PM)

^○林俊雄，田嶋聡美，石川健治，関根誠，堀勝 (名大)

キーワード：Chemical Dry Etching、CDE、Gas etching