[27p-A3-1~17] 8.4 プラズマエッチング

[27p-A3-9] ｢講演奨励賞受賞記念講演｣（15分）
分子動力学法を用いたHBrプラズマによるSiエッチング表面反応解析 (3:45 PM ～ 4:00 PM)

^○中崎暢也，津田博隆，鷹尾祥典，江利口浩二，斧高一 (京大院工)

キーワード：分子動力学法、HBrプラズマ