[27p-A6-1~16] 6.2 カーボン系薄膜

[27p-A6-9] △絶縁性と耐環境性に優れた原子層堆積(ALD)Al₂O₃膜による水素終端ダイヤモンド表面の保護 (4:00 PM ～ 4:15 PM)

^○齊藤達也，大長央，平岩篤，川原田洋 (早大理工)

キーワード：Al2O3、水素終端、パッシベーション