[27p-B6-1~10] 1.3 新技術

[27p-B6-9] 電子線描画パターンをモールドとしたポリマー製フォトニックナノ構造 (3:45 PM ～ 4:00 PM)

^○遠藤達郎¹，芳賀善九²，長谷哲男²，久本秀明¹ (阪府大院工¹，メイホー²)

キーワード：フォトニックナノ構造、電子線描画