[27p-G10-1~6] 半導体モデリング・シミュレーションの現状と将来展望

[27p-G10-2] Kinetic MC 法による SiGe チャネル中の原子レベル不純物拡散モデリング（30分） (2:00 PM ～ 2:30 PM)

^○野田泰史¹，Wilfried Vandervorst^{2, 3} (パナソニック¹，IMEC²，K.U. Leuven³)

キーワード：半導体、シミュレーション、kinetic Monte Carlo