[27p-G20-1~10] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[27p-G20-5] △a-Ge, a-SiGe膜の軟X線結晶化における光子エネルギー依存性 (2:30 PM ～ 2:45 PM)

^○丸山裕樹¹，木野翔太¹，部家彰¹，松尾直人¹，天野壮²，宮本修治²，神田一浩²，望月孝晏²，都甲薫³，佐道泰造³，宮尾正信³ (兵庫県立大院工¹，兵庫県立大高度研²，九大院シス情報³)

キーワード：結晶化、Ge、X線