2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

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シンポジウム » ・SiCパワーエレクトロニクス技術の最前線 -広範な実用化を展望し、残された課題を探る-

[27p-G22-1~10] SiCパワーエレクトロニクス技術の最前線 -広範な実用化を展望し、残された課題を探る-

2013年3月27日(水) 13:00 〜 18:00 G22 (B5号館 4F-2406)

[27p-G22-2] SiC単結晶基板の開発動向(30分) (1:15 PM ~ 1:45 PM)

藤本辰雄 (新日鐵住金)

キーワード:炭化ケイ素、転位欠陥