[27p-G9-1~5] MEMSとLSIの融合の実態と今後の展開

[27p-G9-3] ▲Towards Sensors Implementation and Integration Using the CMOS MEMS Platform（30分） (2:30 PM ～ 3:00 PM)

Chuanwei Wang，Chih-Ming Sun，Ming-Han Tsai，Yu-Chia Liu，^○Weileun Fang (国立清華大)

キーワード：MEMS、CMOS-MEMS