2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

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[27p-G9-1~5] MEMSとLSIの融合の実態と今後の展開

2013年3月27日(水) 13:30 〜 16:15 G9 (B5号館 2F-2203)

[27p-G9-3] ▲Towards Sensors Implementation and Integration Using the CMOS MEMS Platform(30分) (2:30 PM ~ 3:00 PM)

Chuanwei Wang,Chih-Ming Sun,Ming-Han Tsai,Yu-Chia Liu,Weileun Fang (国立清華大)

キーワード:MEMS、CMOS-MEMS