[27p-PB4-1~16] 13.5 Siプロセス技術

[27p-PB4-4] 巨大線状Si結晶グレインを用いた高性能薄膜トランジスタ (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○（B）山野真幸¹，黒木伸一郎¹，佐藤旦¹，小谷光司² (広島大ナノデバイス¹，東北大工²)

キーワード：レーザー結晶化、poly-Si