[27p-PB5-1~13] 13.6 Siデバイス／集積化技術

[27p-PB5-6] 4 端子トンネルFinFETs におけるセカンドゲートを用いたV_th調整 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○水林亘^{1, 2}，福田浩一^{1, 2}，森貴洋^{1, 2}，遠藤和彦^{1, 2}，柳永勛^{1, 2}，松川貴^{1, 2}，大内真一^{1, 2}，石川由紀²，右田真司^{1, 2}，森田行則^{1, 2}，田邊顕人^1,2，塚田順一²，山内洋美²，昌原明植^1,2，太田裕之^1,2 (GNC-産総研¹，産総研-NeRI²)

キーワード：トンネルFET、Vth制御、FinFET