[28a-A3-1~9] 16.1 基礎物性・評価

[28a-A3-8] 超臨界流体を用いたメソポーラスシリコンへのCu 埋め込み (12:00 PM ～ 12:15 AM)

金蓮花¹，^○大矢敏史¹，近藤英一¹，Bernard Gelloz² (山梨大 院医工¹，名大工²)

キーワード：シリコン系材料