2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

06.薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜

[28a-A6-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

2013年3月28日(木) 09:00 〜 11:45 A6 (K1号館 3F-305)

[28a-A6-2] 軟X線を照射したアモルファス水素化炭素膜の屈折率と消光係数 (9:15 AM ~ 9:30 AM)

吉岡久志1,今井亮2,神田一浩2,大塩茂夫1,小松啓志1,戸田育民1,村松寛之1,齋藤秀俊1 (長岡技大(院)1,兵庫県大2)

キーワード:アモルファス水素化炭素膜、軟X線、屈折率 消光係数