[28a-A6-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

[28a-A6-3] DLC膜の種類と抵抗率 (9:30 AM ～ 9:45 AM)

^○吉岡久志，大塩茂夫，戸田育民，村松寛之，齋藤秀俊 (長岡技大(院))

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン、抵抗率