[28a-A6-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

[28a-A6-4] ベンゼン由来アモルファス炭素膜の合成過程における混入水の膜構造への影響 (9:45 AM ～ 10:00 AM)

^○周小龍，戸田育民，大塩茂夫，村松寛之，齋藤秀俊 (長岡技大)

キーワード：アモルファス炭素膜、ベンゼン、混入水