[28a-A6-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

[28a-A6-5] ドライ雰囲気下における振動摩擦摩耗試験機によるDLC膜のはく離 (10:00 AM ～ 10:15 AM)

^○大花継頼¹，間野大樹¹，市村大貴²，中村挙子¹ (産総研¹，東京電機大²)

キーワード：DLC膜