[28a-G12-1~11] 17.1 成長技術

[28a-G12-1] 高アスペクト比微細ビア内へのカーボンナノチューブ成長およびその電気的特性評価 (9:00 AM ～ 9:15 AM)

^○山崎雄一，斎藤達朗，和田真，張利，北村政幸，片桐雅之，佐久間尚志，磯林厚伸，鈴木真理子，坂田敦子，梶田明広，酒井忠司 (LEAP)

キーワード：カーボンナノチューブ、ビア、プラズマCVD