[28a-G19-1~11] 21.1 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[28a-G19-10] VドープZnO薄膜のN₂/O₂アニールによる膜質変化に関する検討 (12:30 PM ～ 12:45 AM)

^○千葉博¹，松尾拓哉²，奥田修平²，森達哉¹，鷲尾勝由^1,2 (東北大工¹，東北大院工²)

キーワード：酸化亜鉛