[28a-G19-1~11] 21.1 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[28a-G19-8] RFマグネトロンスパッタ法によるVドープZnO薄膜の成長と評価 (12:00 PM ～ 12:15 AM)

^○奥田修平，松尾拓哉，千葉博，森達哉，鷲尾勝由 (東北大工)

キーワード：ZnO、光音響