2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13．半導体A（シリコン） » 13.3 絶縁膜技術

[28a-G2-1~12] 13.3 絶縁膜技術

2013年3月28日(木) 10:00 〜 13:15 G2 (B5号館 1F-2102)

[28a-G2-4] Si(100)上界面遷移層内Si化学結合状態のARPESによる解明 (10:45 AM ～ 11:00 AM)

○諏訪智之1，寺本章伸1，室隆桂之2，木下豊彦2，大見忠弘1，服部健雄1 (東北大1，JASRI2)

キーワード：界面構造、光電子分光