[28a-G21-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

[28a-G21-5] ストライプ状SiO2マスクを用いた大口径半極性面GaNの高品質化 (10:00 AM ～ 10:15 AM)

古家大士，^○橋本健宏，上野元久，山根啓輔，岡田成仁，只友一行 (山口大理工学研究科)

キーワード：GaN、Large diameter、SiO2 mask