[28a-G22-1~13] 15.6 IV族系化合物

[28a-G22-1] SiCr系溶媒を用いた2インチ4H-SiCバルク成長 (9:00 AM ～ 9:15 AM)

^○三谷武志^1,2，小松直佳¹，岡村雅之²，高橋徹夫^1,2，加藤智久^1,2，蔵重和央^1,3，宇治原徹⁴，松本祐司⁵，奥村元^1,2 (FUPET¹，産総研²，日立化成³，名古屋大⁴，東工大⁵)

キーワード：溶液成長