[28a-G22-1~13] 15.6 IV族系化合物

[28a-G22-4] ▲SiC溶液成長において流速の変化が表面モフォロジーに与える影響 (9:45 AM ～ 10:00 AM)

^○朱燦¹，原田俊太¹，関和明¹，田川美穂¹，松本祐司²，加藤智久^3,4，蔵重和央^4,5，奥村元^3,4，宇治原徹¹ (名大院工¹，東工大応セラ研²，産総研³，FUPET⁴，日立化成⁵)

キーワード：solution flow velocity、surface roughness