PDF ダウンロード スケジュール 2 いいね! 0 [28a-G22-8] 4H-SiC(0001)Si面上ホモエピタキシャル成長のオフ角依存性 (11:00 AM ~ 11:15 AM) ○田村謙太郎1,3,工藤千秋1,4,升本恵子1,2,児島一聡1,2 (FUPET1,産総研2,ローム3,パナソニック4) キーワード:ステップバンチング、低オフ角、化学気相成長