[28a-G5-1~10] 14.4 光物性・発光デバイス

[28a-G5-1] Si基板上酸化エルビウムのＭＢＥ成長 (10:00 AM ～ 10:15 AM)

^○尾身博雄^1,2，俵毅彦^1,2，鍜治怜奈³，穂積貴人³，足立智³，後藤秀樹¹，寒川哲臣¹ (NTT物性基礎研¹，NTTナノフォトニクスセンタ²，北大院工³)

キーワード：Erbium oxide、Si