[28a-G5-1~10] 14.4 光物性・発光デバイス

[28a-G5-3] スパッタ成膜したZnO:Er膜からの発光特性 -Er濃度依存性- (10:30 AM ～ 10:45 AM)

^○赤沢方省^{1, 2}，篠島弘幸³ (NTT MI研¹，NTT NPC²，久留米高専³)

キーワード：ZnO:Er、フォトルミネッセンス、薄膜