[28a-G6-1~11] 13.5 Siプロセス技術

[28a-G6-2] △高精度アライメントを目指したHIM作製マーカーの電子線トモグラフィーへの適用 (10:15 AM ～ 10:30 AM)

^○林田美咲，飯島智彦，塚原雅宏，小川真一 (産総研)

キーワード：電子顕微鏡、三次元、アライメント