2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

07．ビーム応用 » 7. ビーム応用(ポスター講演)

[28a-PA2-1~14] 7. ビーム応用

2013年3月28日(木) 09:30 〜 11:30 PA2 (第一体育館)

[28a-PA2-7] IBE加工状態の真空一貫KFM観察 (9:30 AM ～ 11:30 AM)

○才田大輔1，大沢裕一1，伊藤順一1，高橋琢二2 (東芝研究開発センター1，東大生研2)

キーワード：IBE、KFM