[28p-A6-1~8] 6.2 カーボン系薄膜

[28p-A6-3] △反応性スパッタ法で作製したアモルファス窒化炭素薄膜の直流電気伝導特性評価 (2:00 PM ～ 2:15 PM)

^○田村尚之，青野祐美，原田人萌，北沢信章，渡邉芳久 (防大材料)

キーワード：アモルファス窒化炭素薄膜、化学結合状態、電気特性