[28p-D3-1~17] 6.1 強誘電体薄膜

[28p-D3-15] ナノチャネルを有する強誘電体ゲートTFTの電気特性評価 (6:00 PM ～ 6:15 PM)

^○野村侑平，吉村武，藤村紀文 (阪府大院工)

キーワード：強誘電体、半導体、ナノギャップ