[28p-G12-1~12] 2次元層状物質の合成・評価技術

[28p-G12-11] 2次元層状MoS₂トランジスタ形成プロセスの検討 (5:15 PM ～ 5:30 PM)

^○兼村瑠威¹，森貴洋²，渡辺英一郎³，津谷大樹³，森山悟士³，前田辰郎²，内田紀行²，宮田典幸²，安田哲二²，田中正俊¹，安藤淳² (横国大院工¹，産総研²，物材機構³)

キーワード：MoS2、FET、ラマン分光