[28p-G5-1~15] 14.4 光物性・発光デバイス

[28p-G5-9] 多重積層量子ドットのSiO₂膜スパッタと熱処理による組成拡散の検討 (4:15 PM ～ 4:30 PM)

^○（M1）松下明日香¹，松本敦¹，赤羽浩一²，松島裕一¹，宇高勝之¹ (早大理工¹，情報通信研究機構²)

キーワード：量子ドット、組成拡散