PDF ダウンロード スケジュール 1 いいね! 0 [28p-G6-15] △三次元構造デバイス応用に向けたCO2レーザーアニールによる積層多結晶シリコン薄膜の形成 (5:45 PM ~ 6:00 PM) ○(DC)山崎浩司1,町田絵美1,堀田昌宏1,2,石河泰明1,2,浦岡行治1,2,池上浩3 (奈良先端科学技術大学院大1,戦略的創造研究推進事業2,九大3) キーワード:laser