[28p-G8-1~14] 13.2 半導体表面

[28p-G8-7] N-フルオロピリジニウム塩を用いた光エッチングによるシリコンのランダム逆ピラミッドの形成 (2:30 PM ～ 2:45 PM)

^○平野利典¹，打越純一¹，大谷真輝¹，永井隆文²，足達健二²，川合健太郎¹，有馬健太¹，森田瑞穂¹ (阪大¹，ダイキン工業²)

キーワード：逆ピラミッド、テクスチャ、エッチング