[28p-G9-1~18] 13.6 Siデバイス／集積化技術

[28p-G9-10] 水素アニールによるSiナノワイヤ平滑化における方位依存性 (4:15 PM ～ 4:30 PM)

^○（DC）森岡直也，須田淳，木本恒暢 (京大院工)

キーワード：Siナノワイヤ、Si nanowire、水素アニール