[28p-G9-1~18] 13.6 Siデバイス／集積化技術

[28p-G9-2] 「第4回応用物理学会シリコンテクノロジー分科会論文賞受賞記念講演」（30分）
原子移動型スイッチの低電圧化と信頼性の改善 (1:45 PM ～ 2:15 PM)

^○多田宗弘，阪本利司，宮村信，伴野直樹，岡本浩一郎，井口憲幸，波田博光 (LEAP)

キーワード：原子スイッチ、不揮発、低電圧