[28p-G9-1~18] 13.6 Siデバイス／集積化技術

[28p-G9-3] 「第4回応用物理学会シリコンテクノロジー分科会研究奨励賞受賞記念講演」（15分）
高アスペクト比TSVへの無電解めっき皮膜形成に向けたPdナノ粒子触媒吸着 (2:15 PM ～ 2:30 PM)

^○井上史大¹，清水智弘¹，三宅浩志¹，有馬良平¹，伊藤俊彦²，關洋文²，篠崎夕子²，山本智彦²，新宮原正三¹ (関西大工¹，東レリサーチセンター²)

キーワード：TSV、無電解めっき、バリアメタル