▲Monolithically integrated MOSFETs capable to drive silicon-wire-waveguide based thermal-optic Mach-Zehnder interferometer switches  (3:00 PM ～ 3:15 PM)

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一般セッション(口頭講演)

13．半導体A（シリコン） » 13.6 Siデバイス／集積化技術

[28p-G9-1~18] 13.6 Siデバイス／集積化技術

2013年3月28日(木) 13:30 〜 18:30 G9 (B5号館 2F-2203)

^○Guangwei Cong¹，松川貴²，千葉正²，田所宏文²，柳原昌志²，大野守史²，河島整¹，鍬塚治彦¹，五十嵐泰史²，昌原明植²，石川浩¹ (産総研¹，産総研²)

キーワード：monolithic integration、MOSFET、MZI switch