2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.6 Siデバイス/集積化技術

[28p-G9-1~18] 13.6 Siデバイス/集積化技術

2013年3月28日(木) 13:30 〜 18:30 G9 (B5号館 2F-2203)

[28p-G9-8] 数nm-CMOS 素子用2 次元Si 層の検討(I):フォノン閉じ込め効果の面方位/歪み依存性 (3:30 PM ~ 3:45 PM)

中原雄太,永田祐介,青木孝,鮫島俊之,水野智久 (神奈川大理)

キーワード:CMOS