[28p-PA3-1~5] 15.8 結晶評価，ナノ不純物・結晶欠陥

[28p-PA3-2] 銀/ナノ銀混合ペーストショットキープローブによるn型4H-SiCの面内トラップ濃度分布評価 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○本田銀熙¹，左右田佳宜¹，古川寛幸¹，徳田豊¹，伊藤成志²，坂根仁² (愛知工大¹，住重試験検査²)

キーワード：SiC、DLTS