[29a-A3-1~7] 16.2 プロセス技術・デバイス

[29a-A3-4] 極薄Si層を挿入したGe膜の赤外線ボロメータ用薄膜材料の検討 (11:00 AM ～ 11:15 AM)

木下潤一，竹内諒，中村優平，^○古川昭雄 (東理大院理工)

キーワード：ボロメーター、赤外線、センサー