[29a-A3-1~7] 16.2 プロセス技術・デバイス

[29a-A3-6] △酸化物薄膜トランジスタの自己発熱効果における熱劣化解析 (11:30 AM ～ 11:45 AM)

^○浦川哲¹，笘井重和²，上岡義弘¹，山﨑はるか¹，笠見雅司²，矢野公規²，Wang Dapeng³，古田守³，堀田昌宏^1,4，石河泰明^1,4，浦岡行治^1,4 (奈良先端大¹，出光興産²，高知工科大³，CREST⁴)

キーワード：薄膜トランジスタ、酸化物半導体、発熱解析