PDF ダウンロード スケジュール 1 いいね! 0 [29a-A4-7] 低温堆積SiNx/SiO2二層膜による結晶シリコン表面パッシベーション (10:45 AM ~ 11:00 AM) ○(M2)小柳俊貴,林将平,水野翼,池田弥央,花房宏明,東清一郎 (広大先端研) キーワード:少数キャリアライフタイム