[29a-B2-1~8] 7.6 イオンビーム一般

[29a-B2-1] IBIECとSPEGによるSiGe/Siの再結晶化 (10:00 AM ～ 10:15 AM)

^○関根渉¹，粟根和隆¹，西村智朗²，山本康博¹ (法政大理工¹，イオンビーム工研²)

キーワード：IBIEC、SPEG、SiGe