[29a-B5-1~11] 1.9 超音波

[29a-B5-4] △サファイア基板上への圧電性Ta₂O₅薄膜の成膜と評価 (9:45 AM ～ 10:00 AM)

^○岩本俊介，三枝涼介，垣尾省司 (山梨大)

キーワード：圧電性