2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

08.プラズマエレクトロニクス » 8.5 プラズマナノテクノロジー

[29a-B7-1~12] 8.5 プラズマナノテクノロジー

2013年3月29日(金) 09:00 〜 12:15 B7 (K2号館 4F-1403)

[29a-B7-8] スパッタ・エッチングプロセスによるDLCナノ構造体の形状変化 (11:00 AM ~ 11:15 AM)

針谷達1,岩佐向洋1,角田祥明1,古田寛1,2,八田章光1,2 (高知工科大1,高知工科大ナノテク研2)

キーワード:ナノ構造体、DLC、エッチング