[29a-B8-1~10] 8.2 プラズマ診断･計測

[29a-B8-10] △プラズマプロセス監視のための特性インピーダンス測定法 (11:30 AM ～ 11:45 AM)

^○本村大成¹，笠嶋悠司¹，上杉文彦¹，栗田裕之²，木村直也² (産総研　生産計測¹，アドバンテスト²)

キーワード：プラズマ、インピーダンス