[29a-B8-1~10] 8.2 プラズマ診断･計測

[29a-B8-4] TDLASによるICP支援DCマグネトロン放電の気体温度計測(Ⅱ) (9:45 AM ～ 10:00 AM)

^○松田良信，橋本卓宏，秋葉駿佑，脇山信太郎，篠原正典 (長崎大院工)

キーワード：気体温度、誘導結合プラズマ、スパッタリング