[29a-B8-1~10] 8.2 プラズマ診断･計測

[29a-B8-5] Tiスパッタプラズマ内の電子励起状態密度と生成薄膜の結晶構造 (10:00 AM ～ 10:15 AM)

^○渡邉健太，山口智功，安田洋司，西宮信夫，鈴木正夫 (東京工芸大学大学院)

キーワード：スパッタプラズマ、Ti、結晶構造